頂立科技臥式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅） 

概述：該化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
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2022-11-07 16:43:18 點(diǎn)擊63207次
服務(wù)區(qū)域：
全國(guó)
聯(lián)系電話：
18874256050
信用：4.0  隱性收費(fèi)：4.0
描述：4.0  產(chǎn)品質(zhì)量：4.0
物流：4.0  服務(wù)態(tài)度：4.0
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臥式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）技術(shù)特征

可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)尺寸，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；

采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍��；

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)； 

采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；

采用最新設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低。



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