頂立科技臥式化學氣相沉積爐（沉積炭） 

概述：化學氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
本信息已過期，發(fā)布者可在"已發(fā)商機"里點擊"重發(fā)"。

刷新時間：
2022-11-07 16:43:06 點擊59899次
服務區(qū)域：
全國
聯(lián)系電話：
18874256050
信用：4.0  隱性收費：4.0
描述：4.0  產(chǎn)品質(zhì)量：4.0
物流：4.0  服務態(tài)度：4.0
默認4分 我要打分
臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）技術特征

可根據(jù)客戶需求設計尺寸，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；

采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。


臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號 HCVD-060609-C HCVD-080812-C HCVD-101015-C HCVD-121225-C HCVD-151530-C
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） 600×600×900 800×800×1200 1000×1000×1500 1200×1200×2500 1500×1500×3000
最高溫度（℃） 1500 1500 1500 1500 1500
溫度均勻性（℃） ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
極限真空度（Pa） 50 50 50 50 50
壓升率（Pa/h） 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術方案和協(xié)議為準。


臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）配置選擇

爐門：鉸鏈回轉(zhuǎn)式/臺車平移式；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊      

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC   

加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產(chǎn)    

真空泵和真空計：進口/國產(chǎn) 

人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機     

PLC：歐姆龍/西門子

控溫儀表：日本島電/英國歐陸   

熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產(chǎn)   

電器元件：正泰/施耐德/西門子

料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車


[本信息來自于今日推薦網(wǎng)]