二手南光1100MM真空電鍍膜機配置:工件盤 公自轉,晶控
概述:配置:工件盤 公自轉,晶控 310,單槍 電子槍 ,雙阻蒸,考夫曼離子源,鍍膜室內采用燈管加熱
工廠轉讓2臺南光1100 9成新鍍膜機 包安裝調試服務(銷售技術楊經(jīng)理:18103045976)
型 式:1100DBI
產(chǎn)品參數(shù):
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架 Ф1130mm
工件架轉速 10rpm to 50rpm(可變)
光學膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式
排氣系統(tǒng) 機械泵2個擴散泵Polycold(或2個冷凝泵)
性 能
達到壓力 7.0×10-5Pa以下
排氣時間 15分(大氣壓~1.3×10-3Pa)
基板溫度 最高:350℃
工作條件
設備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約104KVA
水流量 140升/分以上
空氣壓力 0.5MPa以上
重量 約9000kg

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