二手南光1100MM真空電鍍膜機配置:工件盤 公自轉,晶控  

概述:配置:工件盤 公自轉,晶控 310,單槍 電子槍 ,雙阻蒸,考夫曼離子源,鍍膜室內采用燈管加熱

刷新時間:
2024-04-27 10:36:03 點擊2483次
服務區(qū)域:
江蘇/鎮(zhèn)江/揚中/經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
價格:
  • 12600 元
聯(lián)系電話:
0769-23105805 楊肖梅
QQ:
2531943211
信用:4.0  隱性收費:4.0
描述:4.0  產(chǎn)品質量:4.0
物流:4.0  服務態(tài)度:4.0
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工廠轉讓2臺南光1100  9成新鍍膜機 包安裝調試服務(銷售技術楊經(jīng)理:18103045976)

 型 式:1100DBI

產(chǎn)品參數(shù):

 真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H) 

工件架  Ф1130mm 

工件架轉速 10rpm to 50rpm(可變) 

光學膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式 

排氣系統(tǒng) 機械泵2個擴散泵Polycold(或2個冷凝泵) 

 性 能

達到壓力 7.0×10-5Pa以下 

排氣時間  15分(大氣壓~1.3×10-3Pa) 

基板溫度 最高:350℃ 

工作條件

設備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)  

電源 3相,200v,50/60Hz, 約104KVA  

水流量 140升/分以上 

空氣壓力 0.5MPa以上  

重量 約9000kg   


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