ESC靜電卡盤(pán)電源 高品質(zhì)射頻電源
概述:產(chǎn)品特點(diǎn) 1.電源寄存能量低,內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計(jì)使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。 2.通過(guò)輸出極性轉(zhuǎn)換,降低了夾盤(pán)上電荷的風(fēng)險(xiǎn)。 3.短路和開(kāi)路設(shè)計(jì)增加了設(shè)備的可靠性。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.電源寄存能量低,內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計(jì)使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。
2.通過(guò)輸出極性轉(zhuǎn)換,降低了夾盤(pán)上電荷的風(fēng)險(xiǎn)。
3.短路和開(kāi)路設(shè)計(jì)增加了設(shè)備的可靠性。
4.突出的夾緊性能使本產(chǎn)品更適用于半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)過(guò)程中。
應(yīng)用對(duì)象
靜電卡盤(pán)電源可為半導(dǎo)體晶片轉(zhuǎn)移所使用的靜電夾盤(pán)提供穩(wěn)定的功勞輸出。
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