射頻電源維修 

射頻電源研發(fā)和第三方維修供應商，是國內(nèi)早從事工業(yè)電源維修的企業(yè)。

服務范圍：

從事大功率射頻RF電源研發(fā)&第三方維修供應商，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)研發(fā)和維修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

電源維修

維修半導體設備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、

射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等設備維修。

Thermo Chiller維修 

溫度控制泵浦，設備冷卻系統(tǒng)，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

2、MKS ENI射頻電源/直流電源

3、DAIHEN射頻電源

4、KYOSAN射頻電源/直流電源

5、COMDEL射頻電源

6、ADTEC射頻電源

7、SEREN射頻電源

二、RF MATCH(射頻電源匹配網(wǎng)絡)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高壓電源

1、HiTek Power supply高壓電源

2、ADVANCE HIVOLT高壓電源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源

4、GLASSMAN高壓電源

5、SPELLMAN高壓電源

6、Varian高壓電源

7、其他品牌

四、直流電源

1、LAMDBA ESS/EMI直流電源

2、Delta ELEKTRONIKA直流電源

3、SORENSEN直流電源

4、AMETEK可編程電源

5、POWER TEN直流電源

6、燈絲電源、X射線電源

7、曝光燈電源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波電源發(fā)生器

1、ASTeX AGL系列微波電源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波電源

3、ASTeX Smart Match

    六、RPSC

    MKS 2L

     MKS 3L

     MKS 6L 

     MKS 8L

     MKS 15L

     MKS 22L 

    七、CHILLER溫度控制泵浦

     SMC INR-341-16A

     SMC INR-498-011

     SMC INR-244-215

     SMC-INR-244-117A

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